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晶盛機電:12英寸碳化硅襯底送樣驗證 8英寸獲海內外批量訂單

每日經濟新聞 2026-04-14 16:32:02

每經AI快訊,4月14日,晶盛機電(300316.SZ)發(fā)布投資者關系活動記錄表公告,在半導體裝備領域,12英寸常壓硅外延設備實現小批量銷售,關鍵指標達到國際先進水平;12英寸減壓外延生長設備順利實現銷售出貨并取得重要客戶復購?;衔锇雽w裝備方面,8-12英寸碳化硅外延設備及減薄設備順利取得客戶訂單;碳化硅氧化爐、激活爐及離子注入等設備客戶驗證進展順利。材料業(yè)務方面,公司成功建設12英寸碳化硅襯底加工中試線,并向產業(yè)鏈客戶進行送樣驗證;8英寸碳化硅襯底在全球客戶驗證進展順利,成功獲取海內外客戶的批量訂單;12英寸光學級碳化硅襯底研發(fā)取得突破并小批量生產。

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