每經(jīng)AI快訊，有投資者在投資者互動平臺提問：公司您好！請問公司向A公司的光刻系統(tǒng)提供光場勻化器，該光刻系統(tǒng)的光的波長是多少（例如365nm以上、248nm、193nm、EUV的13.5nm）？謝謝！

炬光科技（688167.SH）5月5日在投資者互動平臺表示，公司的光場勻化器產(chǎn)品供應(yīng)給世界頂級光學(xué)企業(yè)A公司，最終應(yīng)用于全球高端光刻機(jī)生產(chǎn)商的核心設(shè)備。公司是根據(jù)不同客戶需求，匹配不同波長的光場勻化器，覆蓋了DUV全部波長。公司光場勻化器產(chǎn)品目前沒有用于EUV光刻機(jī)。EUV光刻機(jī)和DUV光刻機(jī)光學(xué)工作原理不同。

(記者 尹華祿)

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