每經(jīng)記者｜朱成祥    上海報道    每經(jīng)編輯｜董興生    

5月14日，微導納米披露了首輪問詢函回復報告。微導納米已不是第一次闖關科創(chuàng)板， 2020年6月，公司科創(chuàng)板IPO申請就曾被上交所受理，不過后又于2020年12月終止審核。彼時，系微導納米主動撤回上市申請。

2022年3月，微導納米再度闖關科創(chuàng)板。在首輪問詢中，上交所要求公司就科創(chuàng)屬性等諸多問題作出回復。

微導納米主營ALD設備，主要下游客戶為光伏電池廠商。目前，光伏行業(yè)正在經(jīng)歷一場N型電池的變革浪潮，具體方向包括TOPCon路線、HJT異質(zhì)結(jié)路線以及IBC路線。對于未來光伏行業(yè)路線的選擇是否會對公司業(yè)績帶來影響等問題，《每日經(jīng)濟新聞》記者于5月17日致電微導納米董秘辦公室，不過電話未能接通。

微導納米產(chǎn)品以ALD為主

微導納米產(chǎn)品主要用于光伏產(chǎn)業(yè)鏈的中游環(huán)節(jié)，為太陽能電池片廠商提供鍍膜設備，用于在電池片正面或背面鍍Al2O3和SiNX，是光伏電池片生產(chǎn)環(huán)節(jié)的關鍵工藝設備。

微導納米以原子層沉積（ALD）技術為核心，主要從事先進微、納米級薄膜沉積設備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，向下游客戶提供先進薄膜沉積設備、配套產(chǎn)品及服務。

自2017年以來，PERC電池逐漸成為主流太陽能電池片技術路線。而實現(xiàn)PERC電池的量產(chǎn)，背鈍化設備是其中的關鍵設備。PECVD和ALD正是兩種最主要的背鈍化技術。

不管是ALD還是PECVD，都屬于薄膜沉積工藝。而薄膜沉積設備通常用于基底上沉積導體、絕緣體或者半導體等材料膜層，使之具備一定的特殊性能，廣泛應用于光伏、半導體等領域的生產(chǎn)制造環(huán)節(jié)。

按照工藝原理不同，薄膜沉積設備可分為物理氣相沉積（PVD）、化學氣相沉積（CVD）和原子層沉積（ALD）設備。

據(jù)微導納米招股書，在光伏制造領域，PVD設備可用于HJT光伏電池透明電極；CVD設備可用于PERC電池背面鈍化層、PERC電池減反層，TOPCon電池接觸鈍化層、減反層，HJT電池接觸鈍化層；ALD設備可用于PERC電池背面鈍化層，TOPCon電池隧穿層、接觸鈍化層、減反層。

目前，光伏電池主要有兩大發(fā)展方向，分別為TOPCon電池和HJT電池，不管哪種方向成為主流，均有CVD設備的用武之地。而ALD設備可用于TOPCon電池，但招股書并未提及可用于HJT電池。

當下主流光伏設備廠商中，捷佳偉創(chuàng)、北方華創(chuàng)主要提供PECVD設備，據(jù)微導納米首輪問詢回復報告，2020年，兩家公司光伏PECVD設備營業(yè)收入分別為21.58億元、3億元~5億元。而微導納米2020年營收3.13億元，均為光伏ALD業(yè)務收入。

未來技術路線之爭：設備偏重TOPCon

根據(jù)中國光伏行業(yè)協(xié)會《2020-2021年中國光伏產(chǎn)業(yè)年度報告》，PERC產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)常用的Al2O3鍍膜設備產(chǎn)能指標中，ALD設備優(yōu)于PECVD設備。捷佳偉創(chuàng)、Centrotherm技術類型為PECVD，產(chǎn)能分別為5700片/小時、6000片/小時；而理想晶延、微導納米技術類型為ALD，產(chǎn)能分別為7200片/小時、10000片/小時。

圖片來源：公告截圖

可以看出，在PERC生產(chǎn)中，ALD設備技術指標更高。

不過，若是未來技術路線倒向HJT電池，是否會對微導納米產(chǎn)生沖擊？在問詢函中，上交所科創(chuàng)板上市委要求其說明，光伏領域的市場份額占比情況與技術難度差異，各技術路線的發(fā)展趨勢及相互轉(zhuǎn)換的難度，ALD 技術能否應用于新型電池技術路線，結(jié)合三類技術（PVD、CVD和ALD）的優(yōu)劣勢、下游技術路線變化情況、客戶需求、設備成本，說明光伏領域ALD技術是否存在被取代的風險。

從訂單情況看，微導納米2021年簽署3份新型高效電池產(chǎn)線重大銷售合同，技術路線均屬于TOPCon，2022年2月、3月，微導納米又簽署4份新型高效電池產(chǎn)線重大銷售合同，一份為TOPCon，2份為HBC電池，還有一份來自珠海富山愛旭太陽能科技有限公司的N型高效電池。該公司為上市公司愛旭股份全資子公司，而愛旭股份傾向于發(fā)展ABC電池。

由此可見，微導納米取得的7份重大銷售合同中，沒有一份與HJT電池產(chǎn)線建設相關。另外，微導納米承認，設備廠商需要針對三種技術路線（PVD、CVD和ALD）的技術難點和應用領域，分別對相關工藝和產(chǎn)品進行設計和開發(fā)，三種技術路線之間無法直接相互轉(zhuǎn)換。

公司表示，下游技術路線處于多種技術并行狀態(tài)，雖然公司的ALD技術已在 TOPCon電池應用中展現(xiàn)出一定的優(yōu)勢，但如果未來其他電池技術路線的產(chǎn)線投資和運營成本顯著下降，而公司的 ALD技術、CVD技術未能在該電池技術路線的應用上形成有效突破，則會對公司未來在光伏領域的發(fā)展造成不利影響。

不過，微導納米也認為，目前下一代高效電池技術聚焦在N型單晶硅電池TOPCon和HJT上。當前HJT產(chǎn)線仍處于磨合期，由于設備投資較高、非硅成本難以快速下降的問題，雖然國內(nèi)電池片廠商產(chǎn)能布局較多，但實際落地項目偏少。TOPCon電池在產(chǎn)業(yè)化過程中已獲得先發(fā)優(yōu)勢。

封面圖片來源：公司官網(wǎng)